綠色器件佳能開始銷售新的高容量的FPA-3030i5 +
2012年佳能公司今天宣布,該公司已經開始銷售新的FPA-3030i5 + i線步進設計,以提供高效節能的“綠色設備”制造一個長期的制造解決方案,和MEMS (微機電系統)設備。
Canon FPA-3030i5+ 作為清潔能源和節能增加的認識,也有新的需求,“綠色技術”,包括風能和太陽能發電,車輛的燃油效率,低功耗的設施和環保設備。趨勢表明,向產品和運營對環境的影響減少驅動器。
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測高儀|
測距儀|
金屬探測器環保設備制造商有獨特的工藝要求,并已納入到家計3030i5 +半導體步進設計一些新的升級。 FPA-3030i5 +是專為各種用戶,包括功率半導體,LED(發光二極管)和MEMS制造商提供一個靈活的解決方案。
佳能FPA-3030i5 +在同類產品中實現最高級別的成像分辨率,套印精度和生產率表現
根據通過的現場驗證焦平面-3000系列,在焦平面-30303i5培養技術+能夠提供低于350納米的成像分辨率* 1保持覆蓋小于40納米* 1和吞吐量超過104每小時晶圓精度的同時, * 2提供最高級別的性能,在同一類的i線光刻工具。* 3佳能開發的FPA-3030i5 +系統,以可靠地滿足和超越綠色器件和MEMS制造商的成像,疊加和生產力的要求。
FPA-3030i5 +采用新的軟件結構和電氣控制系統,允許應用先進的硬件和軟件選項,以支持下一代半導體制造。
佳能FPA-3030i5 +支持綠色器件和MEMS制造所需的特殊基板材料
焦平面-3030平臺,允許加工硅(Si),藍寶石(Al2O3),碳化硅(SiC)和各種各樣的綠色設備制造中使用的晶圓材料。 FPA-3030i5 +選項包括翹曲晶圓處理系統允許扭曲基板的加工。的FPA-3030i5 +步進還可以被配置來處理多個晶圓尺寸,并且可以配備多種選項,以提高生產力和效率。
* 1 1 nm(納米)= 1米的十億分
* 2 200毫米晶圓,每片晶圓的60桿
* 3截至2012年6月15日,在同一類的i線光刻工具(基于佳能的市場調研)