電子能譜分析法
采用電子束或者如X射線和紫外光一樣的單色光源去照射樣品,在一定條件下樣品中某些電子受到激發并發射出來。通過測量這些電子的強度和能量,就可以獲得有關樣品成分、結構的一些信息。我們稱這種通過檢測被激發電子的能量來分析材料的方法為電子能譜法。
以下僅對俄歇電子能譜法和X射線光電子能譜法作簡要介紹。