波譜分析和能譜分析的比較

在電子探針或掃描電子顯微鏡中進行微區分析可以采用兩種方法：波譜分析或能譜分析。波譜分析發展較早，但近年來沒有太大的進展；能譜分析雖然只有將近20 年的歷史，但發展迅速，成為微區分析的主要手段。以下為兩種方法的比較。
　　（a）通常的能譜儀探測器采用8μm 厚的鈹窗口，由于它對入射X 射線的吸收無法探測到超輕元素的特征X 射線，元素探測范圍為Na （11）到U（92）。而波譜儀的探測范圍為B （5）到U（92）。
　　雖然能譜儀過去也曾采用過超薄窗口（UTW）或無窗探測器擴大元素探測范圍，但由于種種原因實際上無法推廣。近年來出現了一種單窗口輕元素探測器，可以探測B（5）到U（92）之間的元素，甚至還可探測Be。
　　（b）波譜儀的瞬間接收范圍約為5eV ，即在同一瞬間只能接收某一極窄的波長范圍內的X 射線信號。因此采集一個全譜往往需要幾十分鐘。在此期間要求整個系統的工作條件（加速電壓、束流等）有較高的穩定度。因此波譜分析不能用于束流不穩定的系統（如冷場發射電子槍的系統）中。
　　能譜儀在瞬間可以接收全部有效范圍內的X 射線信號，亦即在一短時間內（例如1 秒）可接收成千上百個各種能量的X 射線光子。由于其隨機性，所以對整個系統的穩定度無嚴格要求，而且采集一個譜通常只需1～2min 。
　　（c）波譜儀的幾何收集效率（接收信號的立體角）較低（<0.2%），而且隨X 射線的波長變化。量子效率（進入譜儀和被計數的X 射線之比）也較低（< 30 %）。為了增加接收到的信號強度，不得不加大束流，束斑也隨之加大，因此當掃描電子顯微鏡觀察高分辨圖像時，或透射電鏡中由于薄膜樣品的X 射線信號強度太低，均無法進行波譜分析。
　　能譜儀的幾何收集效率（< 2 %）高于波譜儀一個數量級，而且只要探測器的位置固定，幾何效率即為常數。在2～16keV的能量范圍內，量子效率接近于100％。因此當掃描電子顯微鏡觀察高分辨率圖像時，或在透射電子顯微中都可進行能譜分析。
　　由于能譜儀的幾何效率和量子效率在一定條件下是常數，所以可以進行無標樣定量分析，這是波譜儀所無能為力的。
　　（d）波譜儀由晶體衍射測定特征X 射線的波長，在測定時要求X 射線源（樣品與電子束的作川點）、衍射晶體、和探測器狹縫嚴格地在同一個聚焦圓上，否則即使符合Bragg 條件也測量不到X 射線。在波譜儀中，衍射晶體和探測器都是運動部件，在運動中要保持上述三部分共圓，因此必須有精密的機構，加工精度也要求較高，這樣就提高了波譜儀的成本。此外不適當的安裝和操作也會使上述三點偏離共圓條件，所以要求較高的維護和操作水平。能譜儀的探測器可接收來自Si（Li）晶體所張立體角內的任何信號，對探測器在樣品室內的位置無嚴格要求。就此點而言，造價比波譜儀低，且操作簡便。
　　（e）能譜儀探測器的能量分辨率一般為140～150eV 左右（分辨率與Si（Li）晶體的活性區面積有密切關系），波譜儀的分辨率一般約為5～10eV。因此能譜譜峰重疊較嚴重，信噪比也較差，譜峰重疊可通過數據處理于以剝離，當然由此會造成一定的分析誤差。信噪比差還會影響到儀器的最低探測極限。此值與樣品和儀器工作條件有關。對于能譜儀而言一般為千分之幾的量級；波譜儀則為萬分之幾的量級。
　　（f）在能譜中還存在其它失真，如逃逸峰、脈沖堆積所造成的和峰、雜散輻射等。雖然這些失真大部分都可以辨認或于以修正，但這都是分析誤差的來源。在波譜中失真較少。
　　（g）由于能譜儀的一些問題一方面引起分析誤差，另一方面也造成了數據處理的復雜性。自80 年代開始計算機就成為能譜儀的重要組成部分，對譜儀進行控制并聯機處理數據。80 年代中期以后更將計算機的作用擴大到圖像處理等功能，成為能譜儀得以起飛的重要條件。波譜儀的數據處理相對地比較簡單，較晚才開始配備計算機，這也是波譜儀發展較慢的原因之一。
　　（h）能譜儀和波譜儀的空間分辨率（指能分辨不同成分的兩點之間的最小距離）基本相同。其原因是樣品在電子束作用下產生特征X 射線的區域是由電子的散射和穿透所決定的（見下圖）。在束斑不太大的情況之下，與束斑尺寸無關。然后在透射電子顯微鏡中，當入射電子尚未在樣品中散射時已經穿透了樣品，所以能夠產生特征X 射線的范圍大大縮小。此時能譜儀的空間分辨率等于或小于樣品的厚度。