電子能譜儀原理及組成

電子能譜儀是進行結構研究的一種儀器。利用一次粒子束作為激發源激發出樣品中的二次粒子，研究二次粒子中電子部分能量分布的儀器的總稱。若一次粒子束是電子，除激發出樣品中的二次電子外，本身會被樣品中的原子或分子所散射，其本身亦可作為測量對象。這些電子隨著能量的不同在數量上有一個統計分布，將這個分布以能量為縱坐標，計數率為橫坐標，即得電子能譜圖。
　　電子能譜儀主要由激發源、電子能量分析器、探測電子的監測器和真空系統等幾個部分組成。