電子探針顯微分析儀簡介

電子探針顯微分析儀是電子探針顯微分析儀用電子束轟擊固體樣品表面，并根據微區內所發射出的 X射線的波長（或能量）的強度進行元素定性、定量分析的儀器，簡稱電子探針。
　　電子探針顯微分析儀由電子光學系統、試樣臺、光學顯微鏡、 X射線譜儀、電子檢測系統和真空系統等組成。
　　其工作原理是將試樣置于顯微鏡下，選定分析位置，以一束細聚焦強電流的電子束激發樣品，在直徑為1微米、體積 為1立方微米區域內的不同元素受激發射出X射線,用波長色散X射線譜儀或能量色散X射線譜儀讀出元素的特征X射線，根據特征X射線的強度與濃度的比例關系，進行元素的定量分析。
　　其優點是：測定元素多（原子序數4以上的元素），精密度好,絕對檢出限達10^-15克；還適用于幾微米厚的薄層分析和厚度為幾個單分子層的超薄膜分析。對微粒礦物和細小的鑒定，研究內部的化學均勻性和元素的地球化學特性，具有重要作用。

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